SMC真空过滤器50-VFE3130-5T-02
真空发生器的排气口、真空阀的吸气（或排气口）和真空泵的排气口也都应装上，
这不仅降低噪声而且能起过滤作用，以提高真空系统工作的可靠性。
对真空过滤器的要求是，滤芯污染程度的确认简单，
清扫污染物容易，结构紧凑，不致使真空到达时间增长。
在安装SMC真空过滤器时，注意进出口不得装反。
配管处不得有泄露。维修时，密封件不得损伤。
过滤SMC真空器进口压力不要超过0.5MPa，
ZFA100-01L ZFB100-06
ZFB301-11 ZFC101-03B
ZFA200-02 ZFB101-07
ZFB401-13 ZFC101-07B
ZFA200-02L ZFB200-06
ZFC100-04B ZFC200-06B

这点可通过调节减压阀和节流阀来保证。
真空过滤器的流速不大，空气中的水分不会凝结，故改过滤器无需分水功能，
不要用AF系列过滤器取代ZF系列过滤器，避免变差。
SMC真空过滤器的种类
SMC真空过滤器有三个系列：ZFA、ZFB、ZFC。
这三种系列的真空过滤器结构原理图分别如下。
SMC ZFA系列真空过滤器是箱式结构，便于集成化。
滤芯呈叠褶形状，故过滤面积大，可通过流量大，周期长。
SMC ZFB系列真空过滤器是管式连接。
由于了万向接头，配管可在360°范围内自由安装。
快换接头，装卸配管迅速。
SMC ZFC系列真空过滤器是小型直通式（进出口在一条线上）快换接头连接，
不需工具便可更换滤芯。当过滤器两端压降大于0.02MPa时，滤芯应拆下清洗或更换。
SMC真空过滤器50-VFE3130-5T-02