喜开理,CKD真空阀RM3000-8-W-B3W

压力（B→A） MPa 0~0.5
阀座泄漏cm3/min 0 (水压时)
背压MPa 0~0.5
环境温度°C 0~60
频率30/分以下
安装方式自由
比原有产品Part 3系列压力范围更大。
控制压力通用，A、B 口的压力通用化了。
本品是在半导体线中，为控制真空室内的真空压力而设计的系统。
●各种CVD装置 ●实验·研究用途（真空压力控制）

前请确认产品构成材料与流体及周边环境是否适用。
注2 ：氢氟酸或者含有氢氟酸的化学液体时，
请在5~80°C范围内。
如果连接方式为F-LOCK60系列配件，温度范围变为5~100°C。
Cv值是温度为23°C时的值。
流体纯水、化学液体、空气、氮气（注1）
流体温度°C 5~120 （注2、注3）
耐压MPa 1.0
压力（A→B） MPa 0~0.5
在半导体以及LCD制造的清洁化学液体（包括纯水）的设备
内，用于控制化学液体压力的减压阀
■对异物非常敏感的内置型过滤器
■流量、压力特性优良，安装简单
■优良的耐腐蚀性
接液部位氟树脂（PFA、PTFE）和SUS316，可发挥优良的耐腐蚀性
喜开理,CKD真空阀RM3000-8-W-B3W