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BALLUFF位移传感器BTL7-S573B-M1250-CD-S32
其是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,
灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差
将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,
该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,
还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。
Z后是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差*可以忽略不计
因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑
压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的设备,
利用来降低这些误差,还可以在出厂的时候
进行一点的误差校准,尽Z大的可能来降低误差以满足客户的需要。
BALLUFF位移传感器是工业实践中Z为常用的一种传感器。一般普通压力传感器的输出为模拟信号,
模拟信号是指信息参数在给定范围内表现为连续的信号。
或在一段连续的时间间隔内,其代表信息的特征量可以在任意瞬间呈现为任意数值的信号。
而我们通常的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的,这样的传感器也称为压电传感器。
其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展
,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。
半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力,
通过外力(压力)使薄片变形而产生压电阻抗,从而使阻抗的变化转换成电信号。
静电容量型压力传感器,是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容,
将通过外力(压力)使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。
(E8Y的动作原理便是静电容量方式,其他机种采用半导体方式)。
BALLUFF位移传感器BTL7-S573B-M1250-CD-S32